MEMS技术研究室简介

? 研究室主任 李新，副教授（博士）

? 研究室成员 揣荣岩，副教授（博士）；关艳霞，副教授（博士）；于慧，讲师； 刘斌，助教。

? 主要研究方向

基于MEMS技术的微传感器研究；功率电子器件研究；大规模集成电路设计。

? 近3年科研情况

承担教育部春晖计划项目、辽宁省自然科学基金项目、辽宁省教育厅一般项目和重点实验室项目各1项，并承担了哈尔滨工业大学863项目和国家自然科学基金项目的部分研究任务，同时承担微系统与微制造辽宁省省级高校重点实验室开放课题1项和高等学校本科教学质量与教学改革工程-创新性实验试点项目1项。发表学术论文20篇，其中SCI收录2篇，EI收录4篇；培养硕士研究生31名，其中已获得硕士学位14名。

? 近年来，和日本群马大学生产系、东北大学化学系、哈尔滨工业大学微电子中心、大连理工大学微系统与微制造辽宁省省级高校重点实验室、沈阳仪表科学研究院国家传感器工程中心等单位进行了深入合作，承担了多项研究课题，设计与制作了多种生物芯片、湿敏元件、气敏元件和力敏元件，研究工作得到了合作单位的认可。多名青年教师在攻读硕士和博士学位期间，作了大量相关研究工作，发表了多篇高水平文章，受到国内研究专家认可。